粉體原料在碳化硅單晶生長過程中發(fā)揮著重要作用,其粉體純度直接影響單晶生長質(zhì)量和電學性能——尤其對大尺寸碳化硅襯底(如8英寸)。制備高純SiC粉料一直是SiC單晶生長領域的研究熱點。下面,我們一起來了解國內(nèi)目前有哪些專業(yè)生產(chǎn)半導體級高純碳化硅粉料的企業(yè)。
01
河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司
河南中宜創(chuàng)芯發(fā)展有限公司成立于2023年5月24日,注冊資本金3億元,公司位于平頂山市衛(wèi)東區(qū)河南電子半導體產(chǎn)業(yè)園內(nèi),是由中國平煤神馬控股集團和平頂山發(fā)展投資控股集團共同出資設立的合資公司。公司主要開展年產(chǎn)2000噸碳化硅半導體粉體的開發(fā)和生產(chǎn),努力打造全國最大的碳化硅半導體材料基地。
項目一期500噸生產(chǎn)線于2023年6月20日開工建設,90日建成并開始試生產(chǎn)創(chuàng)造了國內(nèi)行業(yè)建設最快、投產(chǎn)最快、達產(chǎn)最快的“河南速度”,產(chǎn)品純度最高達到99.999998%。被河南省委贊譽為“轉(zhuǎn)型發(fā)展的典范,貫徹省委換道領跑戰(zhàn)略的典范,打造世界一流企業(yè)的典范”。
目前公司生產(chǎn)的碳化硅半導體粉體有:半絕緣型、摻氮型、不摻氮型、立方型等,其特點是:產(chǎn)品純度高,種類齊全,作為碳化硅半導體原料,廣泛應用于碳化硅單晶生長。產(chǎn)品已在國內(nèi)三十多家企業(yè)和科研機構得到驗證,十幾家已經(jīng)開始批量供貨。
02
紹興晶彩科技有限公司
紹興晶彩科技有限公司是國內(nèi)可以生產(chǎn)粒度從亞微米級到毫米范圍半導體級碳化硅粉料的企業(yè)。主營第三代半導體碳化硅單晶專用的多晶粉體、高純石墨粉、高純石墨件、高純石墨氈;半導體制程所需的高精密特種碳化硅陶瓷件專用超高純粉體;5G領域?qū)S玫臒峁芾聿牧蠈崽盍稀?/p>
公司致力于成為第三代半導體碳化硅單晶高純原輔材料研發(fā)與生產(chǎn)的高科技型企業(yè),目前已有一大批具有超高純度(6N及以上)、粒徑尺寸及均一性、晶型一致性的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品投入批量生產(chǎn)。
03
寧波阿爾法半導體有限公司
公司成立于2018年,高新技術企業(yè),投資20億元,占地105畝,廠房面積40000㎡,第三代半導體—SiC粉料、晶體和襯底的研發(fā)生產(chǎn)與銷售的高新技術企業(yè)。2024年5月內(nèi)蒙工廠投產(chǎn),高純碳化硅粉料產(chǎn)能800噸/年。
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武漢金信新材料有限公司
據(jù)金信新材料負責人介紹,公司用了5年時間,攻克了碳化硅原料超高純度提純以及6到8英寸碳化硅晶錠生產(chǎn)的技術難題,實現(xiàn)了8英寸碳化硅襯底材料的規(guī)模化生產(chǎn)。據(jù)了解,金信新材料主要研發(fā)生產(chǎn)半導體碳化硅晶錠、半導體超高純碳化硅粉料及超純碳化硅結構件等產(chǎn)品,廣泛應用于芯片和光伏領域。
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西安博爾新材料有限責任公司
西安博爾新材料有限責任公司是一家專門從事高品質(zhì)碳化硅(SiC)微粉和晶須及其下游制品等研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的國家級高新技術企業(yè),自主發(fā)明實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)立方碳化硅(β-SiC)微粉和晶須的專業(yè)企業(yè)。其中主營產(chǎn)品立方碳化硅經(jīng)陜西省工信廳及國家工信部批準被納入重點新材料,公司的SiC微粉在精細分級和表面改性處理等方面也都處于前列水平。
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湖州源沁新材料有限公司
湖州源沁新材料有限公司位于浙江省湖州市,在湖州、深圳設有工廠和研發(fā)公司,是從事納米碳化硅、高純碳化硅、納米氮化硅、納米碳化鈦、納米氮化硼、高純碳化硼、納米氮化鋁、石墨烯納米片等納米新材料、超精研新材料、陶瓷新材料、光電新材料、超導新材料的研究、市場應用推廣的技術企業(yè)。
資料來源:
中關村天合寬禁帶半導體技術創(chuàng)新聯(lián)盟、長江潮媒、企業(yè)官網(wǎng)。
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