美國本以為掐住光刻機的脖子,就能困住中國芯片產(chǎn)業(yè),可沒想到,中國狂買他們眼中的“過時貨”深紫外光刻機就是DUV技術(shù),壓根不是為了急著造芯片,這步暗棋,讓美專家克里斯?米勒直呼 “后背發(fā)涼”。
這些年,美國怕中國半導(dǎo)體起來,所以死死的卡著高端的極紫外光刻機就是EUV技術(shù)的出口,只允許荷蘭ASML賣給中國深紫外光科技,在他們看來,DUV是”淘汰技術(shù)”,頂多造造成熟制程芯片,成不了氣候。
可現(xiàn)實打了他們的臉:2023年中國買的DUV,讓ASML在中國賺走了29%的營收;2024年上半年更夸張,占比直接飆到49%,中國成了ASML妥妥的“大客戶”。
但中國買這些機器,沒按美國的劇本走,按理說,買了設(shè)備該趕緊投產(chǎn)造芯片,可中國企業(yè)拿到 DUV 后,第一件事竟是拆機器。
華為的實驗室里,工程師拿著顯微鏡測鏡片鍍膜角度,連螺絲的扭矩參數(shù)都記下來;上海微電子的產(chǎn)線上,工人用國產(chǎn)零件一點點替換進口部件,這哪是用機器,分明是把DUV當(dāng)成了“活教材”。
美國人沒料到,“過時”機器也能玩出花,2023年華為Mate60Pro一上市,全世界都驚了:里頭的7納米芯片,竟是中芯國際用DUV搞出來的,而靠的就是“多重曝光”技術(shù),把激光波長壓縮、優(yōu)化曝光路徑,硬是讓“老機器”突破了精度限制。
更讓美專家慌的是數(shù)據(jù):2020到2023年,中國光刻相關(guān)專利暴漲400%,上海微電子也從造90納米光刻機,一步步推進到28納米機型交付,這些進步,全是拆機器、研技術(shù)攢出來的。
之前那些西方國家對與中國的光科技事業(yè)可以說是相當(dāng)不屑的,就那個ASML公司,之前他們的前CEO還大放厥詞說:“就算給中國圖紙中國也不可能造出光刻機?!耙膊荒芄炙麄儯麄円簿瓦@點出息了,井底之蛙,自己跳不出來就覺得中國也沒可能。
然而,路是死的人是活的,干嘛非要一成不變的撞死胡同,中國就偏不按常理出牌:我們不硬拼EUV,先把DUV的技術(shù)嚼透,再用LDP路線繞開ASML的專利墻。
現(xiàn)在米勒總算看明白了:中國買DUV,是在“以時間換技術(shù)”,囤這些機器,一來怕以后更難買,二來給國產(chǎn)研發(fā)爭取時間,等吃透了核心,西方的壟斷就懸了。
這就像學(xué)騎車,先買輛二手的練手,拆明白剎車、齒輪的原理,再自己攢一輛更適合自己的。
美國專家驚出冷汗,不是怕中國現(xiàn)在造了多少芯片,是怕中國這盤長遠棋,等真把光刻機的技術(shù)摸透了,那才是真的改寫格局。
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