在寶安崛起的深圳半導(dǎo)體版圖里

恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司的

白色廠房并不顯眼

卻藏著“中國(guó)制造”的強(qiáng)勁脈動(dòng)

十二年前，國(guó)內(nèi)等離子體射頻電源系統(tǒng)被海外巨頭壟斷，樂(lè)衛(wèi)平與同事一起，在狹小的車間里敲下第一行代碼

如今，這家企業(yè)已手握224項(xiàng)專利，向國(guó)內(nèi)龍頭批量交付可支撐14納米先進(jìn)制程的等離子體射頻電源系統(tǒng)，成為半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件國(guó)產(chǎn)化的“隱形冠軍”。

2002年，樂(lè)衛(wèi)平只身來(lái)到深圳，成為一家外企的射頻工程師。其后十年間，他跑遍長(zhǎng)三角、環(huán)京地區(qū)的晶圓廠，目睹了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)進(jìn)口等離子射頻電源的依賴——價(jià)格高、交付慢、服務(wù)難，一旦海外供應(yīng)鏈“卡脖子”，整線設(shè)備就得停擺。

2013年，樂(lè)衛(wèi)平和幾位同事一起辭職，用湊來(lái)的啟動(dòng)資金注冊(cè)“恒運(yùn)昌”�！昂恪笔情L(zhǎng)久領(lǐng)跑，“運(yùn)”是順勢(shì)報(bào)國(guó)，“昌”是助業(yè)共榮，三個(gè)漢字濃縮了初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)的初心。

公司成立的前兩年，最難的是找人。射頻電源橫跨電力電子、微波與電磁場(chǎng)、計(jì)算機(jī)、自動(dòng)控制、等離子體物理、機(jī)械、材料等多學(xué)科，懂工藝的人不懂硬件，懂硬件的人不懂半導(dǎo)體。樂(lè)衛(wèi)平把人脈“挖了個(gè)遍”，終于湊齊一支“跨界戰(zhàn)隊(duì)”——技術(shù)靠攢，經(jīng)驗(yàn)靠磨，產(chǎn)品靠拼，客戶靠追。

2018年，國(guó)內(nèi)一龍頭設(shè)備商向恒運(yùn)昌拋來(lái)“橄欖枝”，要求對(duì)標(biāo)國(guó)外頭部廠商技術(shù)指標(biāo)，擬定等離子體射頻電源系統(tǒng)國(guó)產(chǎn)化方案。2020年，恒運(yùn)昌相關(guān)產(chǎn)品通過(guò)驗(yàn)證，后續(xù)逐步取得小批量至批量出貨。

此后，國(guó)內(nèi)一批知名半導(dǎo)體設(shè)備商陸續(xù)向恒運(yùn)昌尋求合作，并快速實(shí)現(xiàn)多種產(chǎn)品的交付和逐步放量。2022年至2024年，恒運(yùn)昌營(yíng)收從1.58億元躍升至5.41億元，凈利潤(rùn)從2639萬(wàn)元增長(zhǎng)至1.43億元。

資本也隨之而來(lái)。2021年起，恒運(yùn)昌先后獲國(guó)投創(chuàng)業(yè)、江蘇瑞芯、中電科、北京光電等產(chǎn)業(yè)基金高頻注資。公司于2021年5月遷入寶安區(qū)桃花源科技創(chuàng)新園，團(tuán)隊(duì)日漸壯大，生產(chǎn)及研發(fā)設(shè)備逐步精良。

截止2024年底，恒運(yùn)昌已累計(jì)獲得224項(xiàng)授權(quán)專利，其中發(fā)明專利104項(xiàng)，承擔(dān)工信部、科技部三項(xiàng)國(guó)家級(jí)課題。弗若斯特沙利文資料顯示，2023年恒運(yùn)昌在中國(guó)大陸半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中，市場(chǎng)份額位列第一。

射頻電源系統(tǒng)的負(fù)載是動(dòng)態(tài)變化的等離子體，時(shí)間尺度從納秒到分鐘、空間尺度從埃米到300毫米晶圓，任何微小的電流波動(dòng)都可能導(dǎo)致整片晶圓報(bào)廢。

為了把“玄學(xué)”變成“工程”

恒運(yùn)昌把研發(fā)拆成三條戰(zhàn)線

第一條戰(zhàn)線是“技術(shù)基石”

01

在創(chuàng)立初期，恒運(yùn)昌“重倉(cāng)”技術(shù)研發(fā)，開(kāi)發(fā)出“等離子體射頻電源的大功率實(shí)時(shí)等離子體阻抗測(cè)量技術(shù)”等核心技術(shù)，為公司半導(dǎo)體級(jí)等離子體射頻電源及匹配器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售奠定了扎實(shí)的技術(shù)基礎(chǔ)。

第二條戰(zhàn)線是“客戶共創(chuàng)”

02

前些年，國(guó)內(nèi)某圓晶廠遇到“卡脖子”問(wèn)題，無(wú)法向原海外設(shè)備供應(yīng)商申請(qǐng)采購(gòu)備件或維修服務(wù)，核心設(shè)備面臨停機(jī)。恒運(yùn)昌接到緊急任務(wù)，第一時(shí)間集中骨干技術(shù)力量開(kāi)展針對(duì)性攻堅(jiān)，順利承接該廠商進(jìn)口等離子體射頻電源系統(tǒng)的原位替換及維修。在強(qiáng)大技術(shù)底氣的支撐下，恒運(yùn)昌與頭部企業(yè)建立戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，雙方深度定制、互為支撐，近百項(xiàng)核心技術(shù)對(duì)應(yīng)形成已授權(quán)發(fā)明專利，牢牢掌握行業(yè)全球競(jìng)速主動(dòng)權(quán)。

第三條戰(zhàn)線是“供應(yīng)鏈共生”

03

在恒運(yùn)昌物料清單上，111家深圳本土供應(yīng)商、40多家珠三角區(qū)域供應(yīng)商名字赫然在列，從連接器到電感、從電子料到線材，高效運(yùn)行的兩小時(shí)供應(yīng)圈，有效降低物流成本、增強(qiáng)供應(yīng)鏈韌性。集群式發(fā)展態(tài)勢(shì)，也讓上下游伙伴之間往來(lái)密切、同頻共振。

CSL系列匹配器

人才是另一個(gè)關(guān)鍵。截至2024年底，恒運(yùn)昌員工近400人，研發(fā)人員占比超40%。2022年、2023年和2024年，恒運(yùn)昌的研發(fā)投入分別為2154.21萬(wàn)元、3696.37萬(wàn)元和5528萬(wàn)元，連續(xù)三年研發(fā)經(jīng)費(fèi)保持增長(zhǎng)，復(fù)合年增長(zhǎng)率約為60.19%；三年內(nèi)累計(jì)投入近1.14億元，占最近三年累計(jì)營(yíng)業(yè)收入的11.11%。

現(xiàn)在，恒運(yùn)昌形成了3大基石技術(shù)和8大產(chǎn)品化支撐技術(shù)，涵蓋信號(hào)采樣及處理、相位鎖定、同步控制、快速調(diào)頻、脈沖控制等等離子體射頻電源系統(tǒng)運(yùn)行中的關(guān)鍵技術(shù)。推出的CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，響應(yīng)了半導(dǎo)體芯片制造工藝中對(duì)等離子體射頻電源系統(tǒng)快、準(zhǔn)、穩(wěn)的核心需求。

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站在2025年的門檻

恒運(yùn)昌提出

“守正創(chuàng)新”的下一個(gè)五年計(jì)劃

01

“守正”是繼續(xù)深耕半導(dǎo)體

隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程加快，恒運(yùn)昌將持續(xù)開(kāi)展核心技術(shù)攻關(guān)，致力于先進(jìn)制程半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件的研發(fā)生產(chǎn)，豐富產(chǎn)品種類、提高技術(shù)先進(jìn)性水平，助力國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件的全面自主可控。

02

“創(chuàng)新”是跨域布局

恒運(yùn)昌將大數(shù)據(jù)和人工智能成果與公司射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)品的技術(shù)相結(jié)合，發(fā)展等離子體射頻電源技術(shù)領(lǐng)域垂直大模型，促進(jìn)射頻電源設(shè)計(jì)技術(shù)快速迭代；恒運(yùn)昌將深化核心技術(shù)并拓展在光伏、顯示面板、精密光學(xué)等其他領(lǐng)域的應(yīng)用，將半導(dǎo)體級(jí)產(chǎn)品所積累的技術(shù)擴(kuò)展至其他領(lǐng)域的產(chǎn)品中，創(chuàng)造新價(jià)值。

CSL系列等離子體射頻電源

同時(shí)，恒運(yùn)昌將緊跟集成電路制造技術(shù)發(fā)展路線，梳理總結(jié)等離子體工藝技術(shù)發(fā)展圖譜，凝練相關(guān)科學(xué)和工程問(wèn)題，參與有關(guān)等離子體科學(xué)、等離子體應(yīng)用技術(shù)、等離子體系統(tǒng)設(shè)計(jì)、等離子體應(yīng)用規(guī)范、等離子體工藝評(píng)價(jià)體系等一系列的等離子體微納加工科學(xué)與技術(shù)的短、中、長(zhǎng)期發(fā)展規(guī)劃，堅(jiān)持創(chuàng)新引領(lǐng)和堅(jiān)定實(shí)施，是恒運(yùn)昌持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略選擇。

單一由光刻驅(qū)動(dòng)的微縮走到盡頭，GAA等結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)的微縮被認(rèn)為是新路徑，表面修飾發(fā)展到凈化單個(gè)原子層；異質(zhì)集成和異構(gòu)集成等為代表的路徑創(chuàng)新也越來(lái)越多，越來(lái)越顛覆性。上述工藝需要新的、具有挑戰(zhàn)性的諸如各向同性、高選擇性刻蝕、基于自由基或中性粒子的刻蝕工藝等，需要射頻電源在脈沖、反應(yīng)時(shí)間、波形等技術(shù)維度上進(jìn)一步發(fā)展。對(duì)于公司而言，若想提前卡位，則需加強(qiáng)并拓寬產(chǎn)業(yè)鏈上下游協(xié)同創(chuàng)新的力度和廣度，以催生顛覆性的創(chuàng)新成果。

出海，也是未來(lái)的業(yè)務(wù)重點(diǎn)

恒運(yùn)昌產(chǎn)品已通過(guò)

CE、SEMI F47、SEMI S2等認(rèn)證

公司有關(guān)負(fù)責(zé)人表示

將積極配合不同國(guó)家對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的安全與性能測(cè)試、提升內(nèi)部ESG治理水平至與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)持平，力求海外客戶與市場(chǎng)的信任。

今年5月2日，恒運(yùn)昌取得一項(xiàng)名為“可切換式阻抗匹配電路及等離子體產(chǎn)生裝置”的專利。專利摘要顯示，本實(shí)用新型公開(kāi)了一種可切換式阻抗匹配電路及等離子體產(chǎn)生裝置，涉及電氣控制技術(shù)領(lǐng)域，旨在提高阻抗匹配的速度以及對(duì)電路體積的縮減。

在技術(shù)賽道上走到極致，恒運(yùn)昌還在努力。

（來(lái)源：寶安日?qǐng)?bào) 記者 何一航）

來(lái)源：深圳夢(mèng)（微信號(hào)ID：SZeverything）綜合

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