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中國半導(dǎo)體材料“大女主”是如何煉成的?| 林蘭英

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編者按

1981年8月28日,國際太陽能討論會(huì)在英國布萊頓閉幕,中國被接納為國際太陽能協(xié)會(huì)會(huì)員。2025年第一季度,中國光伏發(fā)電累計(jì)裝機(jī)容量突破9.46億千瓦,首次超越火電成為第一大電源。光伏發(fā)展離不開硅等半導(dǎo)體材料的研究和發(fā)展。有這樣一位女科學(xué)家,她不僅是我國重要的半導(dǎo)體材料科學(xué)的奠基人和開拓者,也是中國光伏產(chǎn)業(yè)科研界的先行者,她的名字是林蘭英。


賓大第一位女博士

1918年2月7日,林蘭英出生在福建莆田的一個(gè)工商業(yè)者家庭。1936年,林蘭英考上了福州協(xié)和大學(xué)物理系。畢業(yè)后,林蘭英留校任教。同事們?cè)u(píng)價(jià)她:“聰明,坦率、正直,敢于批評(píng)人,不怕得罪人,學(xué)生都很聽她的話?!?/p>

當(dāng)時(shí)國民政府教育部針對(duì)評(píng)定講師有一條規(guī)定,如本人有成書之作,學(xué)校上報(bào)推薦,教育部可以直接給予委任。林蘭英很快完成了《光學(xué)實(shí)驗(yàn)教程》,并憑此獲得講師職稱。如此優(yōu)秀,校方應(yīng)獎(jiǎng)勵(lì)林蘭英出國留學(xué)。但性格倔強(qiáng)的林蘭英從未參加過這所教會(huì)學(xué)校的禮拜,便失去通過學(xué)校出國深造的機(jī)會(huì)。后因?yàn)橐晃簧锵档慕淌谫p識(shí)她的能力,便用私人身份將她推薦到美國狄金遜學(xué)院深造。


1948年6月出國前林蘭英(右3)與家人合影

來源 |《林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集》

1948年6月,林蘭英到美國狄金遜學(xué)院攻讀數(shù)學(xué),同時(shí)選修物理和化學(xué)。1948年美國貝爾實(shí)驗(yàn)室的物理學(xué)家制成了世界上第一根半導(dǎo)體鍺單晶。這不僅開啟了半導(dǎo)體物理學(xué)的新篇章,也成為了林蘭英日后的一盞指向燈。

林蘭英僅用一年便獲得美國狄金遜學(xué)院學(xué)士學(xué)位,讀書期間她還獲得了美國榮譽(yù)學(xué)會(huì)狄金遜分會(huì)的金鑰匙獎(jiǎng),并收到芝加哥大學(xué)攻讀數(shù)學(xué)博士入學(xué)通知書和獎(jiǎng)學(xué)金。但林蘭英最終決定去賓夕法尼亞大學(xué)學(xué)習(xí)固體物理?!拔抑赃@樣選擇,是因?yàn)榭紤]到念物理學(xué)比念數(shù)學(xué)對(duì)祖國未來國民經(jīng)濟(jì)的服務(wù)更直接。”1955年,林蘭英成為該校建校215年以來,第一位獲得博士學(xué)位的中國人,也是該校有史以來的第一位女博士。


1955年圣誕節(jié)林蘭英留影

來源 |《林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集》

“要選定目標(biāo),一旦目標(biāo)確定,就要為之奮斗終身。選擇目標(biāo)時(shí)要看準(zhǔn)國際發(fā)展趨勢(shì)和國家需要,要廣泛接受來自各方面的信息。選準(zhǔn)目標(biāo)后,要在自己的領(lǐng)域堅(jiān)持下去,不能見異思遷。”林蘭英說。

拉制中國第一根硅單晶

畢業(yè)后,她進(jìn)入了索菲尼亞公司研究半導(dǎo)體材料物理特性。根據(jù)她的建議,索菲尼亞公司改進(jìn)技術(shù)措施,拉制成功該公司的第一根硅單晶。這期間,她發(fā)表了《硅的歐姆接觸的制備》《鍺和硅的載流子抽出電極的制備》兩篇論文。在一年多的時(shí)間里,公司給她連續(xù)加薪三次。

1956年12月,林蘭英以母親病重為由提出了回國申請(qǐng)。離開美國前,她的全部薪資所得被扣留,但她還是想方設(shè)法地將自己積攢的500克鍺單晶和100克硅單晶帶回國。回國后,林蘭英將這些樣品捐獻(xiàn)給了中國科學(xué)院,這些樣品成為我國半導(dǎo)體科學(xué)工作的無價(jià)之寶。

“如果要錢的話,我就不用回來了。”每當(dāng)有人提起生活待遇的話題,林蘭英就會(huì)這樣回答。1957年初她回國加入中國科學(xué)院應(yīng)用物理所,任半導(dǎo)體材料研究組組長。當(dāng)時(shí),實(shí)驗(yàn)室條件非常簡陋,組里七八個(gè)人只能共用一間,里面有兩臺(tái)拉單晶的爐子,十四平方米的空間里放了六張三屜桌和一個(gè)書柜,人員出來進(jìn)去時(shí)常常需要喊“勞駕”。


1957年,林蘭英在辦公室留影

來源 |《林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集》

硅材料是制備晶體管和集成電路芯片最重要的材料。回國后,林蘭英發(fā)現(xiàn)硅單晶的研究并未列入《1956-1967年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃》,而當(dāng)時(shí)美國正在不遺余力地研究硅單晶的生產(chǎn)。林蘭英便向領(lǐng)導(dǎo)提出了研制硅單晶的建議。

建議通過了,面對(duì)一窮二白的局面,后面怎么干?國際上制取硅單晶材料工藝,需要在爐膛中充入氬氣,但當(dāng)時(shí)國內(nèi)不能生產(chǎn)氬氣,西方又對(duì)我國實(shí)施禁運(yùn),林蘭英便提出將爐體抽成真空來進(jìn)行拉制。有困難克服困難,有問題解決問題,1958年歲末,我國第一根符合性能、質(zhì)量要求的硅單晶被拉制出來了。

敢“碰硬”

要敢于在國際科研的前沿領(lǐng)域“碰硬”,是林蘭英一句口頭禪。1960年,中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成立,林蘭英成為材料研究室主任。上任后,她開始研究砷化鎵單晶制備。

當(dāng)時(shí)正處于三年困難時(shí)期,各類物資奇缺,屋里冬天沒有暖氣、夏天沒有風(fēng)扇,實(shí)驗(yàn)臺(tái)是用磚頭加木板搭的。因?yàn)橐獰隣t子,林蘭英熱出了一身痱子。最初實(shí)驗(yàn)時(shí),反應(yīng)管還會(huì)經(jīng)常爆炸,爆炸后實(shí)驗(yàn)室就會(huì)彌漫著含有砷的毒氣。

1962年秋,林蘭英培育出砷化鎵單晶,其電子遷移率達(dá)到了當(dāng)時(shí)國際最高水平。同年,世界上第一支砷化鎵激光器問世。由于林蘭英的提前部署,1963年半導(dǎo)體所完成了砷化鎵激光器的研制。

對(duì)砷化鎵的研究,林蘭英耗費(fèi)的精力最多、時(shí)間最長。但是經(jīng)過了20年的發(fā)展,砷化鎵成品率低卻一直沒有得到解決。1987年8月,林蘭英團(tuán)隊(duì)與航天部合作,利用我國返回式衛(wèi)星,在世界上首次在太空從熔體中生長出了砷化鎵單晶。林蘭英組織力量對(duì)空間生長的砷化鎵單品進(jìn)行分析研究,結(jié)果表明,空間生長的砷化鎵的化學(xué)配比更加精確。


1988年9月,林蘭英(左1)與王占國(左3)在美國參加完太空材料會(huì)議后去紐約看望侄兒林守勛(右1)時(shí)與留美學(xué)子們合影

來源 | 《林蘭英傳》

20世紀(jì)80年代,國際上開始研究砷化鎵太陽電池。這種空間能源,比硅太陽能電池有許多優(yōu)點(diǎn)。研究室的向賢碧提出,用液相外延砷化鎵生長技術(shù),來開展砷化鎵太陽電池的研究。

在林蘭英的支持下,從1987年開始,向賢碧組織人員,開始了對(duì)這個(gè)新課題的研究,這成了國內(nèi)最早研究砷化鎵太陽電池的小組之一。在一代代研究人員的努力下,2022年7月24日,中國空間站問天實(shí)驗(yàn)艙發(fā)射升空,其超大型太陽能翼使用了柔性三結(jié)砷化鎵太陽電池陣技術(shù)。


1993年,林蘭英訪問德國不來梅大學(xué)

來源 |《林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集》

女科學(xué)家的眼光

78歲時(shí),林蘭英切除了近1/3的肺,手術(shù)前她要求醫(yī)生保證她術(shù)后能有十年時(shí)間健康地工作,否則她不同意手術(shù)。因?yàn)樗胧陜?nèi)在集成電路、空間應(yīng)用和高科技轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力三個(gè)方面再作出新的貢獻(xiàn)。


1986年,王陽元、王守武、林蘭英、王守覺、李志堅(jiān)等院士在香山飯店參加國家集成電路規(guī)劃

會(huì)議

來源|中國科學(xué)家博物館

“我雖然是研究材料的,但這幾年想得最多的是大規(guī)模集成電路?!?0世紀(jì)90年代,林蘭英開始積極推動(dòng)北方微電子研究開發(fā)基地的建立與建設(shè)。大規(guī)模集成電路就是人們口中的“芯片”,要發(fā)展芯片離不開微電子的研究。她聯(lián)合李志堅(jiān)、吳德馨兩位院士,邀請(qǐng)王陽元一起參與基地建設(shè)。每當(dāng)王陽元和團(tuán)隊(duì)遇到困難、喪失信心的時(shí)候,林蘭英總會(huì)勉勵(lì)他們:“我都70多歲了,你們與我比起來還是年輕小伙子呢,怎能泄氣?”


1998年,林蘭英在英國做學(xué)術(shù)演講

來源 |《林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集》

林蘭英不是一個(gè)刻板的科學(xué)家,空閑時(shí)她喜歡看電影、讀書。雖然出生在男尊女卑的封建家庭,但是她把自己活成了“大女主”。

“最后,我想對(duì)女科技人員說幾句話。在中國,幾千年來的封建意識(shí)的影響還是根深蒂固的,社會(huì)上還存在著輕視婦女的現(xiàn)象,無論是大學(xué)招生、畢業(yè)分配等方面都有。另外女同志的家務(wù)負(fù)擔(dān)確實(shí)比較重,特別是結(jié)了婚,生了孩子后,有些女同志就只能退出科研,而輔助丈夫成就事業(yè)。當(dāng)然這些都是客觀因素,有些目前還難以解決。因此,我希望女科技人員要努力克服外界壓力,克服自卑感,樹立自信心,加強(qiáng)自身的鍛煉。同時(shí)要選擇明確的目標(biāo),培養(yǎng)自己堅(jiān)韌不拔、勇于攻堅(jiān)的精神,不達(dá)目標(biāo)誓不罷休,這樣就一定能成功?!?994年,在一篇“慶祝國際三八節(jié)筆談”中,林蘭英寫下上述內(nèi)容,她是這樣說的,也是這樣做的。2003年3月4日,林蘭英在北京逝世,享年85歲。

參考文獻(xiàn):

[1] 林蘭英院士科研活動(dòng)論著選集[M].北京:科學(xué)出版社,2000.

[2] 林蘭英傳[M].北京:科學(xué)出版社,2014.

[3] 林蘭英:中國太空半導(dǎo)體之母[J].文匯報(bào),1994-01-24.

[4] 四十年崢嶸歲月[J].物理學(xué)史和物理學(xué)家,2003(12):820-822.

[5] 太空半導(dǎo)體材料的開拓者——記物理學(xué)家林蘭英教授[J].現(xiàn)代物理知識(shí),1991,(04):1-2.

[6] 女科技工作者應(yīng)在經(jīng)濟(jì)建設(shè)中發(fā)揮更大的作用─—慶祝三八國際婦女節(jié)筆談[J].中國科技論壇,1994,(02):3.

中國科學(xué)家博物館出品

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